碳化硅机械手臂
西安中威（ZHWE）专业生产用于半导体设备上使用的陶瓷配件，例如碳化硅陶瓷机械手臂、碳化硅陶瓷吸盘，碳化硅SIC载盘、碳化硅基板等。主要材料包括95-99.9%氧化铝，氧化锆，以及氮化硅，碳化硅陶瓷。基本尺寸精度可以控制在0.01mm左右。
主要特点：
・致密质，高硬度，高耐磨性
・良好的耐热性能
・优良的机械强度
・高温环境仍具有良好的绝缘性
・良好的抗腐蚀性
碳化硅陶瓷机械手臂、碳化硅陶瓷吸盘，碳化硅SIC载盘、碳化硅基板选购
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坩埚匣钵